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電子級用水標準GB11446-1-89

日期：2023-02-07 16:31

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摘要：電子級用水標準GB11446-1-89 化學指標單位: μg/L 等　級項　目 EW—Ⅰ EW—Ⅱ EW—Ⅲ EW—Ⅳ ...

電子級用水標準GB11446-1-89

化學指標單位: μg/L

等　級項　目	EW—Ⅰ	EW—Ⅱ	EW—Ⅲ	EW—Ⅳ	EW—Ⅴ
電阻率MΩ.cm.(25℃)	18(*小17)	15(*小12)	10(*小8)	≥2	≥0.5
大于1μm微粒數	1	5	10	100	500
大于0.5μm微粒數	100	300	500	1000	2000
*個數,大值個/mL	1	5	10	50	100
總有機碳含量，*大值	50	100	200	1000	1000
二氧化硅總含量，*大值	2	20	50	100	1000
氯含量，*大值	0.5	2	10	100	500
銅含量，*大值	0.2	2	5	50	500
鉀含量，*大值	0.5	5	10	100	1000
鈉含量，*大值 0	0.5	6	10	200	500
鋅含量，*大值	0.2	2	10	100	500
鋁含量，*大值	0.5	5	10	100	500
鐵含量，*大值	0.5	5	10	100	500
鈣含量，*大值	0.5	5	10	100	500

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滬公網安備 31011402005175號

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